U-S10系列超高纯压力开关_RMNO-亚曼诺-超高纯压力表-超高纯压力变送器-雅曼诺

应用范围：

■U-S10系列超高纯压力开关，采用了高性能微动开关原理，可以实现高精度的压力控制。

■同时也是专为半导体设备领域开发，具有高洁净、高可靠性、零泄露的优异性能特点。

■此系列主要分为三种压力类型，表压型-UGS10、真空型-UVS10、绝压型-UAS10、压力开关吹扫包装等过程在Class100洁净环境中保证了产品质量及性能的稳定性。

■产品主要应用于半导体设备、工艺气体柜(包括IGS)等，以满足设备高精度频繁重复的报警、断开等联动其它执行机构的应用。

■开关接头采用316L洁净材料的VCR 或者C-seal端面密封形式，接头组件经过电抛光氧清洗等工艺处理。

■产品100%出厂氦质谱捡漏测试。

品牌：亚曼诺
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■开关压力类型可以选择表压型(UGS10)、真空型(UVS10)以及绝压型(UAS10) 100%氦质谱捡漏，泄漏率1×10^-⁹-cc/sec 一体式全焊接结构，不含任何O型圈等密封弹性元件。