UHP28系列袖珍型超高纯压力表_RMNO-亚曼诺-超高纯压力表-超高纯压力变送器-雅曼诺

应用范围：

■ UHP28系列超高纯VCR压力表全程在洁净室中生产保证了产品质量，为超高纯度气体输送系统提供优良的的性能和可靠性。

■ 28mm表盘超紧凑式设计，非常适用于空间有限的应用。广泛应用于半导体核心制程设备气体输送系统。

■ 接头洁净度高(组件经过电抛光及氧清洗等工艺处理)、密封性好、无泄露。

品牌：亚曼诺
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■ 可以选择VCRC-seal及W-seal

■ 采用独特精密的感压膜片设计，可以更好满足更小尺寸更高洁净度要求

■ 复质谱泄露测试10^(-10)-Pa-m³/s

■ 表面压力连接Ras018um

■ 316L双熔炼VIM/AR不锈钢电解抛光接液元件

表盘尺寸	28mm
环境温度	-10-60°C
量程范围	-30in.Hg/30PSI -30in.Hg/60PSI -30in.Hg/60PSI
介质温度	-10-60℃
接口方向	轴向
最大耐压	1.3倍满量程
精度(参考温度25℃)	3%FS
过程连接	Female 9/16-18UNF (1/4"FVCR) Male 9/16-18UNF (1/4"MVCR) C-Seal W-seal
测量元件	膜片