■产品优势
RVG系列接液材料为金属镍基合金,因此对半导体及工业真空过程中的腐蚀性介质具有极高的耐受性。采用了全焊接结构,保证了出色的抗过压能力和优异的长期稳定性。另外RVG系列还具有电路噪音低、预热速度快、响应时间快以及不易受环境条件变化影响等优点。
■产品特点
高精度、高稳定性
耐磨损、耐腐蚀性
耐高过裁特性
优异的抗干扰设计
工作温度范围宽
■测量原理
RVG系列采用金属镍基合金膜片专为低真空测量设计(目前最小量程可以做到1torr),采用金属电容式原理将镍基合金膜片焊接在两个电极前端,通过膜片的形来改变膜片与电极的距离变化,从而产生一个线性的电容变化量,再配合专用的调理电路,将电容量转换成mV信号,经过信号放大、线性调理、抗于扰设计等输出标准信号的一体化产品。
■零点校正
该真空计在出厂时已校准,但是由于长时间运行或污染,零点漂移可能会发生,如有必要,可定期检查和调整(校正)零点。 零点调整操作方法(真空状态下电压输出值)抽真空至高于1×10-1Torr,并等待至少5分钟以使传感膜片平衡稳定。用一只一字螺丝刀插入零点(Z)对应小孔并进行零点调节,使对应输出电压为0.005~0.01oV。
顺时针调节电压增大,反顺时针调节电压减小。
量程 | 0-10torr 0-100tor 0-1000torr |
稳定性 | 0.5%FS/年 |
响应时间 | ≤20ms |
供电 | 15-30VDC |
测量介质 | 高纯气体 |
输出 | 0-10VDC 0-5VDC 1-5VDC |
外壳材质 | 304SS |
精度 | ±0.5%FS,±0.25%FS25°C |
膜片材质 | 镍基合金(可选陶瓷) |
补偿温度 | 0-70°C |
介质温度 | -20-100℃ |
电流消耗 | ≤10MA |
输出负载 | >10KQ |
电器连接 | 见连接方式 |
温漂 | ≤0.04% FS/°C |
过程接口 | 见外形图 |


