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UPT-20系列超高纯VCR压力传感器

应用范围:

■ UPT20系列超高纯VCR压力传感器设计精巧,其紧凑的外形设计便于紧凑安装。传感器全程在经过第三方认证的千级洁净室中生产,保证了产品质量,伟超高纯度气体输送系统提供优良的性能和可靠性。广泛应用于光伏半导体、电子制造等行业。 

■ VCR接头洁净度高(组件经过电抛光及清洗等工艺处理)、密封性好,特别适用于要求无泄漏的超高纯净系统、超高真空系统及高压系统。


品牌:亚曼诺
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性能特点

■ VCR相容密封装置

■ 100%氦质谱泄露测试

■ 316L不锈钢电解抛光接液元件

■ EP级表面压力链接Ra≤0.25um

■ 采用玻璃微熔传感元件

■ 氧清洗处理

技术参数

测量介质

高纯气体或者液体

补偿温度

-10-60℃

量程范围

-14.7-6000PSI

介质温度

-20-80℃

精度(参考温度25℃)

±0.5%(标准)0.25%FS(可选)满量程

可靠性

每个传感器均经过检验,以满足SEMI™标准在密封性、过压稳定性、准确度和颗粒方面的要求

零点温度漂移

±0.01%F.S./℃

响应时间

2ms

接液材质

316L不锈钢

过程连接

Female 9/16-18UNF(1/4*FVCR)

Male 9/16-18unf(1/4*MVCR)

1/4NPT Male

输出信号

4~20mA,0~10CDV,0~5VDC,1~5CDV,0.5~4.5CDV

电源

12~36V




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