■ VCR相容密封装置
■ 100%氦质谱泄露测试
■ 316L不锈钢电解抛光接液元件
■ EP级表面压力链接Ra≤0.25um
■ 采用玻璃微熔传感元件
■ 氧清洗处理
测量介质 | 高纯气体或者液体 |
补偿温度 | -10-60℃ |
量程范围 | -14.7-6000PSI |
介质温度 | -20-80℃ |
精度(参考温度25℃) | ±0.5%(标准)0.25%FS(可选)满量程 |
可靠性 | 每个传感器均经过检验,以满足SEMI™标准在密封性、过压稳定性、准确度和颗粒方面的要求 |
零点温度漂移 | ±0.01%F.S./℃ |
响应时间 | 2ms |
接液材质 | 316L不锈钢 |
过程连接 | Female 9/16-18UNF(1/4*FVCR) Male 9/16-18unf(1/4*MVCR) 1/4NPT Male |
输出信号 | 4~20mA,0~10CDV,0~5VDC,1~5CDV,0.5~4.5CDV |
电源 | 12~36V |
